用途：高純氧(yang)用于(yu)二(er)氧(yang)化(hua)硅的化(hua)學氣相沉積(ji)；作(zuo)為(wei)氧(yang)化(hua)源(yuan)與(yu)產(chan)生高純水的反應(ying)劑；干法氧(yang)化(hua)；與(yu)四氟化(hua)碳(tan)混(hun)合，用于(yu)等(deng)離子刻蝕。氧(yang)的主要用途源(yuan)于(yu)它(ta)能維持生命(ming)和(he)助燃(ran)性質；在冶(ye)金工(gong)業中有廣泛應(ying)用。還可用于(yu)水質處理。所(suo)有的氧(yang)化(hua)反應(ying)和(he)燃(ran)燒(shao)過程都(dou)需(xu)要氧(yang)，例如(ru)煉(lian)鋼時除(chu)硫、磷等(deng)雜質，氧(yang)和(he)乙炔(gui)混(hun)合氣燃(ran)燒(shao)時溫度高達3500℃，用于(yu)鋼鐵(tie)的焊接和(he)切割。玻璃制造、水泥生產(chan)、礦物焙燒(shao)、烴(jing)類加(jia)工(gong)都(dou)需(xu)要氧(yang)。液氧(yang)還用作(zuo)火箭(jian)燃(ran)料，它(ta)比其(qi)他燃(ran)料更(geng)便宜。